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洁净室高效过滤器检漏标准与注意事项

2026.10.13

高效过滤器安装完成后,必须开展现场检漏测试,确认过滤器滤材、边框、安装密封面无泄漏,这是洁净厂房验收的关键环节,TFT-LCD、生物医药 GMP 车间均要求现场检漏。 检漏一般采用 PAO 气溶胶法,测试时,在过滤器上游送入 PAO 气溶胶,在过滤器下游使用光度计扫描滤材表面、过滤器法兰密封接缝、过滤器与箱体之间的缝隙。扫描移动速度需要控制在规范范围内,一旦扫描出现浓度超标,代表存在漏点。


检漏操作流程:系统开机,调整风量至过滤器额定风量,稳定系统气流;在上游发烟,待上游气溶胶浓度稳定后,使用采样探头逐点扫描过滤器。滤材本体、滤材与边框胶缝、法兰密封面是重点检测位置。如果检测发现泄漏,需要标记漏点,泄压检修,修补或者更换过滤器,复测合格后方可投入使用。


设备特点: 检漏参考标准包含 ISO14644、国内 GMP 洁净室验收规范。高效过滤器检漏不只是检测滤材本身,同时检验安装施工质量,很多洁净车间洁净度不达标,问题不在过滤器本体,而是法兰密封漏风。 日常运维中,每次更换高效过滤器之后,都必须重新完成 PAO 检漏。运行期间,定期监测过滤器压差,当压差达到终阻力,及时更换过滤器,避免滤材破损造成污染物穿透。 高效过滤器检漏是保障洁净车间稳定运行的关键手段,及时排查漏点,保护产线产品不受粉尘污染,降低工厂生产损耗。

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