高效过滤器在使用过程中，滤材破损会直接造成洁净室颗粒物超标，很多洁净车间出现洁净度不合格，根源就是高效滤材损坏。 滤材破损常见诱因分为安装损伤、运行工况损伤两大类。安装时，搬运、安装过程磕碰、用力挤压过滤器，会造成玻纤滤材产生微裂纹；安装框有毛刺、尖锐凸起，也会划破滤材。运行工况方面，系统突然产生风压冲击、气流剧烈波动，会拉扯滤材；高湿环境水汽长期浸泡，滤材强度下降，容易分层破损；前端预过滤失效，大量大颗粒粉尘高速冲击滤材，也会击穿滤料。

安装作业时，搬运过滤器轻拿轻放，禁止按压滤材区域；安装前检查箱体、法兰框，去除毛刺尖角，密封胶条摆放平整，螺栓对角均匀锁紧，避免局部受力挤压滤板。系统调试时，风机由低风量逐步上调，避免瞬间大风冲击过滤器。高湿工况选用耐湿型高效过滤器，定期更换前端预过滤，减少大颗粒粉尘进入后端。